Tarkkuusosilla tarkoitetaan osia, joilla on korkeat tarkkuusvaatimukset ja jotka vaativat yleensä tarkkuustyöstöä vaatimusten täyttämiseksi. Tasoituskäsittely on yleinen tarkkuustyöstömenetelmä, jota käytetään pääasiassa ohuiden levymateriaalien tasoittamiseen.
Erityisesti tasoituskäsittely on prosessi, jossa ohuita levymateriaaleja venytetään, puristetaan ja muotoillaan mekaanisilla tai lämpökäsittelymenetelmillä sisäisen jännityksen poistamiseksi, niiden pintojen tasaamiseksi ja korkean tarkkuuden saavuttamiseksi. Tasoituskäsittelyssä materiaalin kovuus, lujuus ja sitkeys on otettava huomioon käsittelyparametrien ja prosessivirtauksen määrittämiseksi.
Tasoituskäsittelyä käytetään yleisesti korkean tarkkuuden komponenttien, kuten tarkkuusinstrumenttien, elektronisten laitteiden ja optisten komponenttien valmistukseen, mikä voi parantaa huomattavasti tuotteiden laatua ja tarkkuutta.
